Berita Industri

Reka bentuk bilik bersih semikonduktor perlu mematuhi dengan ketat standard Persatuan Peralatan dan Bahan Semikonduktor Antarabangsa dan "Spesifikasi Reka Bentuk Kilang Bersih Industri Elektronik". Proses reka bentuk hendaklah berdasarkan konsep pengurusan risiko, mempertimbangkan keperluan proses, kawalan alam sekitar, keselamatan operasi dan unsur-unsur lain. Kelas bilik bersih perlu ditentukan mengikut keperluan proses, biasanya kawasan teras memerlukan tahap ISO 3-5, ketepatan kawalan suhu dan kelembapan perlu mencapai ± 0.1 ° C dan ± 1% RH。

Keperluan Reka Bentuk Bangunan

Menggunakan konsep susun atur modular untuk membahagikan dengan jelas kawasan proses teras, kawasan bantuan, kawasan peralatan dan kawasan fungsi lain. Peralatan proses harus disusun mengikut urutan proses, dan laluan penghantaran bahan dipersingkatkan. Bilik pembersihan kakitangan harus diletakkan di pintu masuk kawasan bersih, termasuk proses penuh menukar kasut, menyimpan pakaian, pancuran mandi, memakai pakaian bersih dan lain-lain.

bilik bersih semikonduktorketinggian bersih tidak perlu kurang daripada 3.0 meter, ketinggian lapisan teknikal tidak kurang daripada 1.8 meter. Jarak peralatan perlu mengambil kira keperluan penyelenggaraan operasi, lebar saluran utama tidak kurang daripada 2.0 meter. Kawasan pemasangan peralatan yang besar harus menetapkan pintu masuk peralatan, saiz memenuhi keperluan kemasukan dan keluaran peralatan maksimum.

2. piawaian sistem pembersihan udara

Kawasan teras menggunakan aliran satu arah menegak, dengan kelajuan angin dikawal pada 0.45 ± 0.1m / s. Kadar penuh kain penapis kecekapan tinggi tidak kurang daripada 80%, kadar pembukaan grid angin semula tidak kurang daripada 50%. Bilangan pertukaran udara di kawasan aliran bukan satu arah tidak kurang daripada 50 kali / jam untuk memastikan aliran udara diedarkan secara merata.

Perbezaan tekanan antara kawasan bersih dan kawasan yang tidak bersih tidak kurang daripada 15Pa dan perbezaan tekanan antara bilik bersih yang berbeza tidak kurang daripada 10Pa. Gradien perbezaan tekanan harus mengikuti prinsip penurunan dari kawasan kebersihan tinggi ke kawasan kebersihan rendah. Kawasan utama perlu menyediakan sensor perbezaan tekanan untuk mencapai pemantauan masa nyata.

Ketiga, piawaian kawalan parameter alam sekitar

Ketepatan kawalan suhu bilik bersih semikonduktor 22 ± 0.5 ℃ (kawasan fotografi); Ketepatan kawalan kelembapan relatif 45 ± 3%; Sensor suhu dan kelembaban harus menetapkan satu titik pengukuran setiap 100 meter persegi; Sistem harus mempunyai keupayaan tindak balas yang cepat, dan perubahan suhu dan kelembapan tidak melebihi julat tetapan.

Kawalan kebersihan ≥0.1μm kepekatan zarah tidak melebihi 10000 pcs / m3 (ISO tahap 5); ≥0.3μm kepekatan zarah tidak melebihi 1020 pcs / m3 (ISO Grade 5); amplituden kawalan kawalan peralatan ketepatan mikrogetaran tidak lebih daripada 1μm; Rintangan permukaan kawalan elektrostatik 106-109Ω.

4. piawaian konfigurasi kemudahan awam

rintangan sistem air tulen ≥18.2MΩ · cm (25 ℃); Kandungan karbon organik keseluruhan ≤5μg / L; Jumlah bakteria ≤10CFU / 100ml; Sistem ini menggunakan bekalan air kitaran, kelajuan aliran tidak kurang daripada 1m / s.

Paip gas khas bilik bersih menggunakan keluli tahan karat gred EP; Kesucian gas ≥99.999%; Kandungan zarah ≤0.1μm; Dilengkapi dengan pemantauan dalam talian dan peranti pemotongan kecemasan.

5. standard reka bentuk anti-mikrovibrasi

Tetapkan asas bebas kawasan peralatan ketepatan anti-getaran struktur; Kawalan frekuensi getaran struktur di bawah 25Hz; Penggunaan pengisolan spring, kecekapan pengisolan tidak kurang daripada 95%; Asas peralatan dan struktur bangunan menetapkan jahitan pengasingan.

Peralatan anti-getaran kipas, pam air dan peralatan kuasa lain menetapkan asas pengurangan getaran; tetapan sambungan fleksibel sistem paip; gantung paip angin menggunakan gantung pengurangan getaran; Mesa kerja peralatan ketepatan menyediakan peranti pengisolan udara terapung.